光刻机巨头ASML“握手”无锡，将给我国集成电路产业带来哪些变化？

当雷宇科技日报记者郭忠

5月14日，江苏省无锡市传来消息:同一天，无锡高新区管委会与ASML公司正式签署战略合作协议，在原有基础上整合升级资源，加快光刻机设备技术服务(无锡)基地的扩张。

记者了解到，这是阿斯玛和无锡第二次“握手”。2006年，阿斯玛公司在无锡建立了光刻设备技术服务基地。经过多年的“精耕细作”，爱思美无锡基地现已成为中国最大的光刻设备技术服务基地，并成为华虹、SK海力士等多家重点集成电路企业的光刻设备供应商。

那么，Asme基地升级和扩建的计划和目标是什么？中国集成电路产业基地将带来什么新变化？

Asme光刻设备技术服务(无锡)基地项目签约仪式现场(雷宇照片)

项目扩展

它具有非凡的意义。

江苏省半导体工业协会有关人士告诉记者，光刻设备是发展集成电路产业的重要核心。总部位于荷兰的Asme是芯片制造设备的全球领导者，也是芯片光刻技术的领导者。几十年来，Asme凭借其在光刻制造领域成熟和先进的技术优势垄断了光刻市场。

特别是近10年来，随着国际集成电路产业的快速发展，由于缺乏光刻设备的关键技术，世界上许多国家只能从荷兰进口光刻设备。目前，在光刻领域，中国的集成电路制造商仍然需要进口以满足工业发展的迫切需要。

在无锡成功引进的Asme光刻设备技术服务(无锡)基地主要集中在两大业务领域:一个是占地约2000平方米的技术中心，拥有近200人的专业团队，从事光刻设备的维护和升级等技术服务；另一个是占地约2000平方米的供应链服务中心，为客户提供设备安装、升级和生产运营所需材料的高效供应链服务和更高层次的物流支持。

项目建成后，服务能力将进一步提高，更好地满足当地集成电路行业的发展需求，帮助客户在降低制造成本的同时不断提升芯片价值。

业内人士认为，中国集成电路产业目前正处于非常时期。阿斯玛光刻设备技术服务(无锡)基地的引进和扩建意义非凡。

强有力的合作

加速赶上中国工业的“短板”

无锡市政府有关领导表示，江苏省无锡市是中国政府最早规划的集成电路产业基地之一，也是中国集成电路产业发展的缩影。近年来，在国家和地方政策的大力支持下，无锡先后引进了华虹基地、海力士二厂等一批重大工业项目。去年，全市集成电路产业产值达到1178亿元，增长8.3%，居全省第一，全国第二。

目前，无锡集成电路产业虽然在国内起步较早，并已形成一定的产业规模，但在光刻设备、集成电路设计和高端电子化学品方面，仍处于集成电路产业的上游“短腿”。完善产业链，提升产业自主创新能力和国际竞争力迫在眉睫。

“升级光刻设备服务基础将加强我们与客户的合作，快速响应他们的需求，并不断提高客户服务水平。”阿斯玛全球副总裁兼中国区总裁沈波表示:我们期待与半导体行业的合作伙伴合作，开发更多智能技术，并将其应用于各行各业，造福民生。

"我们提供创新的产品和服务，以帮助芯片制造商不断小型化芯片."沈波表示，我们正在不断提高产品性能，帮助客户不断增加芯片价值和降低成本。我们致力于使芯片的性能更强大、价格更合理，从而推动半导体技术在医疗、能源、通信、娱乐等相关产品和服务中得到更广泛的应用。

无锡市副市长、高新区党工委书记姜敏认为，无锡工业基础好，asmee拥有核心技术。通过双方的大力合作，加快asmee光刻设备基地的扩建项目，将有助于加快无锡集成电路产业在强势、互补和延伸链方面的发展，进一步推动中国集成电路产业向总部和高端发展。

来源:《科技日报》文章中的图片是作者提供的。

编辑:刘一阳

审核:关晶晶

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